X射线荧光分析法（X-ray fluorescence analysis），是对固体或液体试样进行化学分析的一种非破坏性物理分析法。试样在强X射线束照射下产生的荧光X射线被已知高点阵间距的晶体衍射而取得荧光X射线光谱。这种谱线的波长是试样中元素定性分析的依据；谱线的强度是定量分析的依据。